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发布时间:2022-01-26 21:22:01
真空泵的材质要求
1、要有足够的机械强度和刚度,从而保证壳体能承受较大的大气压力,在加热烘烤时不可发生变形。
2、化学稳定性好。真空泵的材质要有较强的和抗腐蚀能力,不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。
3、在工作温度和烘烤温度下,饱和蒸气压要足够低。
4、热稳定性好。在系统的工作温度范围内,能始终保持良好的真空性能和机械性能。
5、在工作真空度及工作温度下,真空容器内部的器件应保持良好的工作性能。
6、另外,真空泵的材质要有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能,易加工成复杂形状的壳体。
7、气密性好。它在工作时,要保持在很高的真空环境下,所以器壁材料不可以存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷,渗透速率和出气速率要低。
水环真空泵管路的安装要点
一、挑选合理的管路方案
1、管路拐弯越少越好;
2、管路的拐弯处应油滑过渡;
3、真空系统出口与泵的进口之间距离越短越好;
4、配接进出口管直径应与产品的进出口直径共同,如真空系统较小,进出口配接管直径可以小,但不得小于产品进出口直径的70%,且出口直径应大于或等于进口管直径;
5、进口管路应高于泵的进口中心线,出口管应避免有引起较大阻力的要素,如出口管上爬、直角拐弯等;
6、水环真空泵的进水管路要安装阀门,用来调理进水量的多少,进水量的多少对真空度有影响,调理进水量时经过调查真空表的指针来操控阀门,SK-0.8的极限真空能达到-0.087,在工作状况下,因为管路不是完全密封的状况,真空度在-0.06左右就能满意工作需求。2)、轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。
二、真空系统的吸气口处安装真空表,以便掌握真空的改变状况。
三、管路的接头要加密封垫,不得有漏气、漏水现象。
四、安装或维修管路时,防止掉进***。
五、吸气口的管路上安装阀门
当水环真空泵真空度达到极限时会发生很大的噪音,叫气蚀声,经过阀门来调理真空度,真空度高时,试压检测仪,翻开阀门放掉适量的气体,气蚀声立刻消失。真空度下降时封闭阀门。
六、循环水
循环水的其中一个重要作用还是用来冷却真空泵工作时发生的温度,泵,当循环水的水温超过40度,真空度会下降,及时补充或更换冷水来下降循环水的温度,围栏设备上的多用铁油桶来装循环水,水桶的水要多一些。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。2、更换真空泵油及油过滤器使用前,检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。2、工艺要求的抽气量(抽气速率)真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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